AP系统申请基板支架及处理设备相关专利，能够防止基板过度变形以稳定支撑基板,包括,显示,金融界
2025-03-19 11:59:09
AP系统申请基板支架及处理设备相关专利，能够防止基板过度变形以稳定支撑基板,包括,显示,金融界
金(jin)融界2025年(nian)3月19日消息，国家常识(shi)产(chan)权局信息显示(shi)，AP系统股份有限企业申请一项(xiang)名(ming)为“基板支架及包括(kuo)基板支架的基板处理设备”的专利，公开号 CN 119626972 A，申请日期为2024年(nian)6月。
专利摘要显示(shi)，本公开涉及一种基板支架和包括(kuo)所述基板支架的基板处理设备，更具体地说，涉及一种能够防止基板过度变形以稳定支撑基板的基板支架，以及包括(kuo)所述基板支架的基板处理设备。所述基板支架包括(kuo)具有多个(ge)孔并且基板安顿在其上的基板安顿部(bu)，用于(yu)支撑所述基板安顿部(bu)的平台部(bu)，以及用于(yu)对所述多个(ge)孔中的至少一部(bu)分(fen)提供负压以使基板被吸附的排气部(bu)件。所述基板安顿部(bu)包括(kuo)多孔缓(huan)冲垫(dian)部(bu)，所述多孔缓(huan)冲垫(dian)部(bu)经配置以提供基板安顿的安顿面，所述安顿面具有多个(ge)相互连(lian)通以定义第一通道的第一孔，所述第一通道的一端暴露于(yu)所述安顿面，并且所述多孔缓(huan)冲垫(dian)部(bu)由具有弹性的材料制成。
来源：金(jin)融界