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晶芯成申请半导体结构相关专利,降低西格玛沟槽关键尺寸调节难度,栅极
2025-03-22 07:28:40
晶芯成申请半导体结构相关专利,降低西格玛沟槽关键尺寸调节难度,栅极

金融界2025年3月22日消息(xi),国家常识产(chan)权局信息(xi)显示,晶芯成(北京)科技(ji)有限企业申请一项名为“半导体结构的(de)制造方法和半导体结构”的(de)专利,公开(kai)号CN 119653849 A,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本申请实(shi)施(shi)例提供了(le)一种半导体结构的(de)制造方法和半导体结构,涉及半导体制造技(ji)术领域。该半导体结构的(de)制造方法包括:提供基(ji)底;其中,基(ji)底包括衬底和间隔设置于衬底上的(de)至少两个栅极(ji)结构;栅极(ji)结构凸出衬底的(de)表面;相邻的(de)两个栅极(ji)结构在衬底上的(de)投影(ying)之间的(de)间隔距离为第一距离;在栅极(ji)结构上形成聚合层(ceng),得(de)到过渡栅极(ji)结构;其中,相邻的(de)两个过渡栅极(ji)结构在衬底上的(de)投影(ying)之间的(de)间隔距离为第二距离第二距离小于第一距离;基(ji)于第二距离,在衬底内形成西格玛沟槽。通过本申请实(shi)施(shi)例,利用对聚合层(ceng)厚度的(de)控制实(shi)现了(le)对西格玛沟槽的(de)顶部尺寸的(de)调节,降低了(le)西格玛沟槽关(guan)键尺寸的(de)调节难度,提升了(le)西格玛沟槽关(guan)键尺寸的(de)调节能力(li)。

天眼查资料(liao)显示,晶芯成(北京)科技(ji)有限企业,成立于2020年,位于北京市(shi),是一家以从事科技(ji)推(tui)广和应用服务(wu)业为主的(de)企业。企业注册资本20万人(ren)民(min)币,实(shi)缴资本20万人(ren)民(min)币。通过天眼查大数据(ju)分析,晶芯成(北京)科技(ji)有限企业专利信息(xi)191条,此外企业还拥有行政许可1个。

来源:金融界

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