金融界2025年(nian)3月21日消息，国家知(zhi)识产权局信息显示(shi)，芯恩（青岛(dao)）集成(cheng)电路有限企业取得一项名为(wei)“等(deng)离子处(chu)理设备”的专利，授权公告号 CN 222637221 U，申请(qing)日期为(wei)2024年(nian)3月。
专利摘要显示(shi)，本实用新型提供了一种等(deng)离子处(chu)理设备包括等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室和磁隔离屏蔽罩，所述磁隔离屏蔽罩包括中空的筒状结构，所述筒状结构罩设于所述等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室外且与所述等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室的外壁贴合设置，以隔离外界磁场(chang)对所述等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室内等(deng)离子体的干扰，且所述筒状结构的高度大于所述等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室的高度。本实用新型能隔离外界磁场(chang)对等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室内等(deng)离子体的干扰，从而保证了等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室内磁场(chang)的稳(wen)定，避免了等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室内的磁场(chang)受外界磁场(chang)干扰而导(dao)致等(deng)离子处(chu)理腔(qiang)室内的等(deng)离子体分布不均，有利于提升对晶圆的处(chu)理的均一性和再现性。
天眼(yan)查资料显示(shi)，芯恩（青岛(dao)）集成(cheng)电路有限企业，成(cheng)立于2018年(nian)，位于青岛(dao)市，是一家以从事计算机(ji)、通信和其他电子设备制造(zao)业(ye)为(wei)主(zhu)的企(qi)业(ye)。企(qi)业(ye)注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼(yan)查大数据分析，芯恩（青岛(dao)）集成(cheng)电路有限企业共对外投资了2家企(qi)业(ye)，参与招投标项目166次，财产线索方面有商(shang)标信息15条，专利信息593条，此外企(qi)业(ye)还拥(yong)有行政(zheng)许可55个。
来源：金融界