【新凯来在 SEMICON China 2025 展会首次亮相并发布多款产品】3 月 27 日讯,3 月 26 日,SEMICON China 2025 在上海(hai)开幕。新凯来展区人头攒动。这是新凯来首次公开亮相,同时发布多款产品,覆盖(gai)半导(dao)体制造全流程。发布的产品,在工艺装备方面有(you)扩散装备 RTP、EPI(峨眉山)等;刻蚀产品 ETCH(武夷山);薄膜产品 PVD(普陀山)、CVD(长白山)、ALD(阿里山)。在量(liang)检(jian)测装备方面有(you)光学检(jian)测产品岳(yue)麓山BFI、丹霞山DFI 等;光学量(liang)测产品天门(men)山IBO、天门(men)山 DBO;PX量(liang)测产品沂蒙(meng)山 AFM、赤壁山-XPXPS 等;功率检(jian)测产品 RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。